キャリア内のオリフラを合わせます。
写真中央のシリコンローラにてウエハを回転させ、全てのウエハを整列させる事ができます。
| 対応ウエハ径 | φ3〜φ6インチ |
| 装置重量 | 2.5kg |
| 装置サイズ | W190×D204.2×H81 |
| 対応ウエハ径 | φ3〜φ6インチ |
| 装置重量 | 2.5kg |
| 装置サイズ | W190×D204.2×H81 |