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キャリア内のオリフラを合わせます。
写真中央のシリコンローラにてウエハを回転させ、全てのウエハを整列させる事ができます。

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対応ウエハ径 φ3〜φ6インチ
装置重量2.5kg
装置サイズW190×D204.2×H81

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