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キャリア内の、任意のウエハを写真の様にピックアップする装置です。
ピックアップ枚数は、1〜3枚まで製作可能です。
また、25枚を階段状態に並べNoの確認ができる仕様も準備できます。

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対応ウエハ径φ3〜φ8インチ
対応キャリア25、26枚キャリア兼用
装置重量7.5kg
装置サイズW230×D230×H275

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