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キャリア内のウエハを指定袋に自動梱包する装置です。
梱包前のウエハの厚みを測定し、他製品の混入もチェックします。
また袋内のエアー抜き、ウエハ情報ラベル貼付け機能もあります。

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ユーリティ [電源]
AC100V 30A
[エアー]
0.4Mpa以上
装置重量750kg
装置サイズW1400×D1070×H1813

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